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杭州科锐工程技术有限公司
主营：仪器仪表,工业自动化设备,技术开发 - 19975374860
杭州科锐工程技术有限公司
主营：仪器仪表,工业自动化设备,技术开发
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半导体及相关行业的精密电镀（铸）设备。
设备型号：YH-WPT系列。
名称 | 技术指标 |
可处理基片 | 晶圆片4 ″，6 ″，8 ″ 陶瓷基板 2″×2″，3″×3″，4″×4″ |
电镀功能 | 凸点、TSV、RDL |
电镀工艺 | 镀铜、镀金、化学镍铜、锡、银、镍及各种合金， |
电镀形式 | 水平、垂直、真空镀 |
控制方式 | 按键旋钮式、触摸屏、PC控制记录 |
循环方式 | 氟塑泵，5-10次/分，过滤精度0.45um,带匀流板 |
刮板搅拌器 | 0-150mm，速度0-60次/分 |
电镀电源系统 | 直流5A/12V、脉冲3A/10V 0.01mA 带通讯 |
设备用途：主要应用晶圆3D封装中的凸点、TSV、PDL、铜Pillar、MEMS等多种湿制程工艺